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硅材料生产中污水的处理及综合利用
闰盼升
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本文处理的是高含Cr ̄+6、HF及NO_3 ̄-等有毒、腐蚀性强的污水。采用把多晶硅和单晶硅腐蚀废液分别收集单独进行处。这样废液体积小,浓度大便于处理回收,污水处理后有害物质含量远优于国家标准,而且所用设备简单,原料便之易得。
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